http://ir-heat-element-corp.com/uk/tags/%D0%B2%D0%B0%D0%BA%D1%83%D1%83%D0%BC/ Recent content in Вакуум on Infrared Heat Element Corporation Hugo uk Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/uk/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/uk/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Інфрачервоний обігрівач сумісний з вакуумом"></p> <p><strong>Зменшення витрат енергії під час обробки напівпровідників: правда про інфрачервоне опалення</strong><br> Якщо ми справді хочемо досягти цілей щодо вуглецевої нейтральності на заводах з виробництва напівпровідників, нам необхідно припинити марнувати стільки енергії під час теплової обробки. Довгий час усі використовували традиційні резистивні нагрівачі. Але ці нагрівачі є неефективними.</p> <p>Ми перейшли на інфрачервоні лампи, які підходять для використання у вакуумі. Замість того, щоб нагрівати всю вакуумну камеру – що є повною марнотратністю енергії – ці лампи спрямовують тепло безпосередньо на пластину. Просто.</p> http://ir-heat-element-corp.com/uk/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/uk/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Інфрачервоний нагрівач для вакуумної камери"></p> <p>У чистій кімнаті класу 1 на гарячу плату розміщується пластинка діаметром 300 мм. Товщина шару фотошару контролюється за допомогою температури, а не заради бажання. Навіть зміна температури на 2°C може призвести до пошкодження поверхні пластинки, що призведе до втрати результатів роботи протягом цілого тижня. Ми створили інфрачервоний нагрівач у вакуумній камері, щоб усунути необхідність у припущеннях під час процесу нагрівання.</p> <p><strong>Що є важливим у конструкції нагрівача</strong><br> Нагрівач використовує кварцеві емітери короткохвильового випромінювання для прямого нагрівання; час реакції становить кілька мілісекунд. На всій активній поверхні пластинки рівномірність температури становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – 0,05°C. Корпус камери виготовлений з електрополірованої нержавіючої сталі 316L; така конструкція дозволяє зменшити викид газів. Камера може працювати в умовах вакууму до рівня 10^-6 мбар. Конструкція камери, придатна для використання в чистих кімнатах, забезпечує відсутність утворення частинок навіть після 5 000 годин роботи при температурі 250°C. Інтегрована пирометрія та система закритого контролю забезпечують стабільність температури під час процесу нагрівання.</p>