Tại sao chúng ta lại từ bỏ phương pháp sử dụng không khí nóng để sưởi ấm wafer trong quy trình gia công? Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực gia...

Trên sàn sản xuất, một quá trình soft bake ở 90°C với sai số ±0,5°C sẽ ảnh hưởng đến độ đồng đều CD và làm giảm năng suất. Nhiệt độ không phải là một...