Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dành cho wafer

Fri, 24 Jul 2026 11:46:02 +0800

Tại sao chúng ta lại từ bỏ phương pháp sử dụng không khí nóng để sưởi ấm wafer trong quy trình gia công?
Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực gia công bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ cảm giác khó chịu khi phải chờ đợi. Cụ thể là phải chờ cho wafer đạt đến nhiệt độ mong muốn bằng cách sử dụng không khí nóng.

Vấn đề là phương pháp sử dụng không khí nóng rất chậm. Bạn chỉ có thể thổi khí nóng vào wafer, hy vọng rằng nhiệt lượng sẽ được truyền sang wafer một cách hiệu quả. Nhưng điều này gây ra tình trạng chênh lệch nhiệt độ khó chịu, ảnh hưởng đến tiến độ công việc.

Bếp hồng ngoại chính xác cho thiết bị điện tử

Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800

Trên sàn sản xuất, một quá trình soft bake ở 90°C với sai số ±0,5°C sẽ ảnh hưởng đến độ đồng đều CD và làm giảm năng suất. Nhiệt độ không phải là một nút điều chỉnh phụ—nó xác định cách mà photoresist hoạt động, cách nó bám dính và liệu mẫu có giữ được hình dạng trong các bước tiếp theo hay không. Khi kiểm soát nhiệt bị lệch, bạn sẽ thấy ngay kết quả: lỗi trên quá trình kiểm tra và lượng công việc sửa lại tăng lên.

Độ Chính Xác on Infrared Heat Element Corporation

Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dành cho wafer

Bếp hồng ngoại chính xác cho thiết bị điện tử