Máy sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không

Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800

Giảm lãng phí năng lượng trong quy trình chế tạo bán dẫn: Sự thật về công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại
Nếu chúng ta thực sự muốn đạt được mục tiêu trung hòa khí carbon trong các nhà máy chế tạo bán dẫn, chúng ta phải ngừng việc lãng phí quá nhiều năng lượng trong giai đoạn gia nhiệt. Trong thời gian dài, mọi người vẫn sử dụng các bộ sưởi điện trở truyền thống. Nhưng vấn đề là những bộ sưởi này rất kém hiệu quả.

Lò sưởi hồng ngoại trong buồng chân không

Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800

Trong phòng sạch hạng 1 này, các tấm wafer kích thước 300mm được đặt lên bề mặt nóng. Việc điều chỉnh nhiệt độ để xử lý wafer được thực hiện thông qua việc kiểm soát nhiệt độ chính xác, chứ không phải dựa vào suy đoán. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 2°C thôi cũng có thể khiến các lớp vật liệu trên wafer bị ảnh hưởng, từ đó làm mất đi kết quả công việc sau một tuần lao động. Chúng tôi đã thiết kế bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng chân không nhằm loại bỏ yếu tố ngẫu nhiên này.

Chân Không on Infrared Heat Element Corporation

Máy sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không

Lò sưởi hồng ngoại trong buồng chân không