http://ir-heat-element-corp.com/vi/tags/ph%C3%B2ng-th%C3%ADnh-ph%C3%B2ng/ Recent content in Phòng; Thính Phòng on Infrared Heat Element Corporation Hugo vi Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/vi/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/vi/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lò sưởi hồng ngoại trong buồng chân không"></p> <p>Trong phòng sạch hạng 1 này, các tấm wafer kích thước 300mm được đặt lên bề mặt nóng. Việc điều chỉnh nhiệt độ để xử lý wafer được thực hiện thông qua việc kiểm soát nhiệt độ chính xác, chứ không phải dựa vào suy đoán. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 2°C thôi cũng có thể khiến các lớp vật liệu trên wafer bị ảnh hưởng, từ đó làm mất đi kết quả công việc sau một tuần lao động. Chúng tôi đã thiết kế bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng chân không nhằm loại bỏ yếu tố ngẫu nhiên này.</p>