http://ir-heat-element-corp.com/zh/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Infrared Heat Element Corporation Hugo zh Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="可与真空环境配合使用的红外加热器"></p> <h2 id="减少半成品加工过程中的能量浪费红外加热技术的真谛">减少半成品加工过程中的能量浪费：红外加热技术的真谛</h2> <p>如果我们真的想实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止在加热过程中浪费如此多的能源。长期以来，人们一直使用传统的电阻式加热器。但问题是，这类加热器的效率极低。</p> <p>我们现在改用与真空环境相兼容的红外灯。相比那种试图加热整个真空腔体的方式——这无疑是一种能源的巨大浪费——这种红外灯能够将热量直接传递到晶圆上。非常简单。</p> http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="真空室红外加热器"></p> <p>在一级洁净室中，300毫米直径的晶圆被放置在加热板上。光阻层的固化是通过温度来控制的，而非凭经验判断。表面温度哪怕只有2摄氏度的变化，都可能影响光刻质量，甚至导致一周的加工成果付诸东流。为此，我们设计了真空室内的红外线加热器，从而消除这种不确定性。</p>