高能效晶圆加热器

别再等待烤箱加热了：为何红外加热才是最佳选择 如果你仍在使用热空气循环方式来进行半导体深度加工，那其实你有一半的时间都在等待中度过。 想想热空气加热的原理吧：先加热水分，再让这些热空气去加热晶圆。这显然是一种效率低下的方法，就像用吹风机来给整个房间供暖一样。 而红外加热则不同。它直接利用辐射能来加...