http://ir-heat-element-corp.com/zh/tags/oled/ Recent content in OLED on Infrared Heat Element Corporation Hugo zh Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/zh/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="OLED制造干燥灯"></p> <h1 id="oled-线上的烘干不是暂停而是控制点">OLED 线上的烘干<a href="https://o-yate.net">不是暂停</a>，而是控制点</h1> <p>晶圆经过清洗后，需要一个稳定的表面以进行光刻。光刻胶烘干不足会导致边缘积胶，进而引起叠层偏移。烘烤不均匀则会使线宽分布变宽，良率下降。<a href="https://henruite.com">我们设计的</a>红外烘干灯就是为消除这种工艺变异而生。</p> <p><strong>技术要点</strong><br> 我们采用短波红外发射器，配备快速响应的灯丝和石英光学元件，能量直接作用于光刻胶层。系统在烘烤区内保持晶圆级温度均<a href="https://o-yate.com">匀性在</a> ±0.1°C 以内，确保热预算在批次间保持一致。<br> 软烘干曲线在一个紧密窗口内重复，硬烘烤转变过程清晰，无过冲。洁净室兼容性内置：采用低放气材料，密封灯箱，控制气流路径，粒子产生几乎为零。</p>