
ফ্যাব ফ্লোরে, সলিড-স্টেট ব্যাটারি ওয়েফার তৈরির প্রক্রিয়ায় থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ নেই। এক ডিগ্রিরও কম/বেশি তাপমাত্রার পরিবর্তনই ওয়েফারের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড হিটারটিকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে লিথোগ্রাফি ও কিউরিং প্রক্রিয়াগুলো নির্ধারিত তাপমাত্রার মধ্যেই ঘটে।
আসলে গুরুত্বপূর্ণ হলো নিয়ন্ত্রণের মাত্রা। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড তাপ দ্রুত পাতলা ফিল্ম ও সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়; এখানে অ্যাক্টিভ জোনে তাপমাত্রার ভিন্নতা হয় ±0.1°C-এর মধ্যে। প্রতিবার চালানোর সময় তাপমাত্রার ভিন্নতা হয় ±0.5°C-এর মধ্যে। ফলে সফট বেক, হার্ড বেক ও পোস্ট-অ্যাপ্লাই বেক প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবেই সম্পন্ন হয়। এই হিটারটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; আর এটি চালানোর সময় কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। আমরা ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতার জন্য এটি ডিজাইন করেছি; এর MTBF ডেটা দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহার ও পূর্বানুমানযোগ্য রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সহায়ক।
এর কারণ হলো: প্রক্রিয়াটি খুবই সংক্ষিপ্ত; আর লাইনে সময় কাটানো খুবই ব্যয়বহুল। এখানে দ্রুতভাবে নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছানো যায়; ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নিয়ন্ত্রণ করা যায়; আর অতিরিক্ত/অপর্যাপ্ত কিউরিংয়ের কারণে অপচয় কমে যায়। ইনফ্রারেড তাপ শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে; আশেপাশের অংশগুলোকে নয়। ফলে উৎপাদন প্রক্রিয়াটি সহজ হয়ে যায়; আর পণ্যগুলোর গুণমান স্থিতিশীল থাকে।
একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো: ইনফ্রারেডের কার্যকারিতা নির্ভর করে লোডের ইমিসিভিটি ও রিফ্লেক্টিভিটির উপর। কোটেড সাবস্ট্রেট ও মাল্টিলেয়ার স্ট্যাকগুলোর জন্য দ্রুত থার্মাল কোয়ালিফিকেশন প্রয়োজন। একবার এটা নির্ধারণ হয়ে গেলে, সিস্টেমটি ন্যূনতম ভিন্নতার সাথে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। কিন্তু বিভিন্ন ধরনের উপাদানের জন্য সুসংগত ফলাফল পেতে হলে এই প্রাথমিক কোয়ালিফিকেশনটি অপরিহার্য।