লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় ০.২°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনই লাইনওয়াইডনেস নিয়ন্ত্রণকে ব্যর্থ করে দেয়; ফলে উৎপাদন ক্ষমতাও কমে যায়। ঐতিহ্যবাহী হটপ্লেটগুলো থার্মাল বাজেটের মধ্যে থেকে ওয়েফারের সমানতা বজায় রাখার চেষ্টা করে। জোনড ইনফ্রারেড হিটিংই এর সহজ সমাধান।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমাদের জোনড আইআর মডিউলটি স্বাধীনভাবে নিয়ন্ত্রিত NIR এলিমেন্টগুলো ব্যবহার করে বিভিন্ন জোনে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে ওয়েফারের প্রান্ত থেকে কেন্দ্র পর্যন্ত তাপমাত্রার পার্থক্য কমে যায়। ওয়েফারের সর্বত্র ±0.1°C এর মতো স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় থাকে; আর সেটপয়েন্টগুলো এতটাই নির্ভুল যে গুরুত্বপূর্ণ বেকিং প্রক্রিয়াগুলো ঠিকমতো সম্পন্ন হয়। এই হার্ডওয়্যারটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর জন্য তৈরি করা হয়েছে—কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান, সিলড অপটিক্স, এবং কণা কমানোর জন্য বিশেষ ডিজাইন। বেকিং প্রক্রিয়ায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; আর দীর্ঘমেয়াদী থার্মাল স্থিতিশীলতার কারণে গুরুত্বপূর্ণ ডাইমেনশনগুলো স্থিতিশীল থাকে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
এই মডিউলটি প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণে সাহায্য করে। “সফট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো খুব কম ত্রুটির সাথে পুনরাবৃত্তি হয়; ফলে রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে। থার্মাল প্রতিক্রিয়া দ্রুত হওয়ায় সাইকেল টাইম কমানো যায়, আর প্রোফাইলের নির্ভুলতা বজায় থাকে। শক্তি শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় জায়গায়ই ব্যবহৃত হয়; ফলে প্রতি লটের অপারেটিং খরচ কমে যায়। কম স্ক্র্যাপ ওয়েফার, কম অ্যালার্ম, এবং ২৪/৭ অপারেশনেও কোনো ব্যাঘাত নেই।
ব্যবহারিক বিবরণসমূহ
ইনস্টলেশনের জন্য চেম্বারের আকার অনুযায়ী মডিউলটিকে সাজানো হয়; আর বিদ্যমান গ্যাস ও পাওয়ার ইন্টারফেসগুলোর সাথে এটিকে সংযুক্ত করা হয়। আমরা ইন্টারফেসের ড্রয়িং ও ভ্যালিডেশন প্রোটোকলও সরবরাহ করি। এই মডিউলটি স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়ার জন্য উপযোগী; কিন্তু এটি ডাইরেক্ট ইমার্শন বা ওয়েট-প্রসেসের জন্য উপযুক্ত নয়। আপনার প্রোডাক্টের জন্য উপযুক্ত বেকিং প্রক্রিয়া নির্ধারণ করতে অল্প সময়ের জন্য টেস্ট করা উচিত।