Udržování čistoty waferů v případě problémů
V továrnách na výrobu waferů je selhání lampy opravdu noční můrou. Nejde jen o to, že se stroj zastaví na několik hodin. Pokud praskne křemenná trubice pod velkou zátěží, na vaše silikonové desky spadnou střepy skla a kousky wolframu. Najednou se z jednoduchého selhání součásti stane katastrofa spojená s kontaminací.
Naše IR lampy jsou navrženy tak, aby tomu zabránily.
Zabránění vzniku střepů
Začínáme s vysoce čistým spojeným křemenem – ten dokáže odolat nárazům spojeným s rychlým ohřevem a ochlazováním. Ale nezastavujeme se u toho. Lampy obalujeme do ochranného pouzdra nebo speciální vrstvy. Můžete to považovat za „bezpečnostní síť“. Pokud praskne vlákno nebo trubice, pouzdro zachytí všechny střepy. Tím zůstanou vaše wafery čisté.
Řešení problémů s teplem
Když zvyšujete výrobní kapacitu, nutíte své trubice pracovat na hranici jejich možností. Většina trubic praskne kvůli „horkým místům“ – oblastem, kde se teplo příliš koncentruje.
Abychom to vyřešili, věnujeme velkou pozornost způsobu vinutí vlákna a koncovým krytům. Ujišťujeme se, že teplo je rozprostřeno rovnoměrně po celé trubici, takže nevznikají žádné slabá místa.
Jeden rychlý tip: zkontrolujte svůj chladicí systém. Pokud se vzduch kolem lampy příliš ohřeje, dokonce i ten nejlepší křemen na světě nakonec selže.
Ty drobnosti, které jsou důležité
Používáme standardní konektory – volné spojení totiž představují zdroj problémů. Volná spojení způsobují vznik výbojů, což vede k přehřátí a poruše lampy. Navíc pevné spojení zaručuje, že se lampa při vibracích stroje nebudou pohybovat.
Upřímně řečeno: žádná lampa nevydrží věčně. Nehlavíme vám, že lampa nikdy nepraskne. Co však slibujeme, je systém, ve kterém, když lampa konečně dosáhne svého limitu, nezničí celou vaši zásilku waferů.