Jak zastavit noční můru prasknutí lamp při vysoušení waferů
Pokud jste již prováděli výrobní cykly s vysokou zátěží, víte, jaké to je. Tyto infračervené lampy jsou vystaveny velkému namáhání. A když jedna z nich konečně selže a praskne? Je to katastrofa. Skleněné úlomky a chemické látky létají všude kolem, čímž se kontaminují vaše wafery a okamžitě klesá jejich kvalita. Je to chaos, se kterým nikdo nechce mít co do činění.
Našli jsme způsob, jak tomu zabránit. Přidali jsme speciální reflektor, který plní dvě funkce najednou: zvyšuje optickou sílu světla a zároveň slouží jako fyzická ochrana.
Jak to vlastně funguje
Používáme hliník vysoké čistoty s speciální anodovou povrchovou úpravou. Nejde jen o to odrazit infračervené světlo zpět ke waferu. Jde také o to vytvořit bariéru mezi kvartovou obálkou a pracovním povrchem waferu.
Pokud se lampa rozbije kvůli teplotnímu šoku, reflektor zachytí úlomky. Většina nečistot zůstane uvnitř reflektoru. To znamená, že nemusíte přerušovat celý výrobní proces kvůli úklidu po každém prasknutí lampy.
Faktor tepla (a jeho nevýhody)
Tyto reflektory jsou navrženy pro vysokou hustotu výkonu. Podle potřeb můžeme upravit ohniskovou vzdálenost, abychom zajistili, že teplo dopadne na wafer, a ne na rám stroje.
Ale existuje jeden problém: čím úžejší je ohnisková vzdálenost, tím větší je intenzita tepla. Pokud jsou chladicí ventily slabé, může se samotný reflektor přehřát, což nakonec poškodí jeho povrchovou úpravu. Je to jednoduché řešení, ale je potřeba na to dávat pozor. Každých 2 000 hodin je potřeba zkontrolovat povrch kvůli oxidaci. Je to rychlá kontrola, abyste se ujistili, že všechno stále funguje správně.
Instalace
Tyto reflektory jsou navrženy jako náhrady. Nemusíte předělávat celou konstrukci stroje nebo přesouvat vybavení, abyste je tam umístili. Reflektor se jednoduše připevní kolem lampy. Pokud se lampa katastrofálně rozbije, nečistoty zůstanou na místě. To znamená, že proces výměny je mnohem méně náročný. Stačí vyndat rozbitou lampu a reflektor, odstranit úlomky a připojit nový set. Můžete znovu začít pracovat, aniž byste riskovali zbytek své várky.