Vakuumově kompatibilní infračervený ohřívač
Omezení plýtvání v polotovarech: Pravda o infračerveném ohřevu Pokud chceme skutečně dosáhnout cílů uhlíkové neutrality v továrnách na polovodiče,...
Infračervený ohřívač vakové komory
V čisté místnosti třídy 1 se na horkou desku umisťuje wafer o velikosti 300 mm. Fotorezistent se upravuje pomocí teploty, a ne na základě domněnek....