دیگر منتظر ماندن برای استفاده از فرهای حرارتی را متوقف کنید؛ چرا که استفاده از روش گرمایش مادون قرمز منطقیتر است.
اگر هنوز از روش گرمایش با هوای گرم برای فرآیندهای پردازش نیمههادیها استفاده میکنید، در واقع نیمی از زمان خود را صرف انتظار میکنید.
فکر کنید که هوای گرم چگونه عمل میکند: ابتدا هوا گرم میشود، سپس آن هوا باید ویفر را گرم کند. این روش بسیار غیرکارآمد است؛ درست مثل تلاش برای گرم کردن یک اتاق با استفاده از فن دستی.
روش گرمایش مادون قرمز متفاوت است؛ این روش از انرژی تابشی برای گرم کردن مستقیم سطح ویفر استفاده میکند. نیازی به واسطههایی برای انتقال حرارت نیست؛ همچنین نیازی به انتظار برای گرم شدن هوا نیست.
هزینه واقعی انتظار
هر کسی که تجربه استفاده از این روش را داشته باشد، میداند که چقدر زمان لازم است تا دما به حد مورد نظر برسد. شما دما را تنظیم میکنید و سپس منتظر میمانید…
اما با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانید در عرض چند ثانیه به هدف مورد نظر برسید. این تفاوت بسیار زیادی در زمان انجام فرآیندها ایجاد میکند. این موضوع در فرآیندهای خشک کردن یا خارج کردن گازهای اضافی از ویفر بسیار مهم است؛ اگر نتوانید دما را به سرعت افزایش دهید، خطر تخریب ویفر وجود دارد.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
نکته مثبت این روش این است که نیازی به استفاده از فنهای بزرگ و پرسر و صدا نیست؛ فقط کافی است لامپها را به درستی تنظیم کنید.
اما باید مراقب باشید؛ چون روش مادون قرمز بسیار سریع عمل میکند، ممکن است از حد مورد نظر فراتر رود. اگر لامپها به درستی تنظیم نشوند، ممکن است نقاط گرم ایجاد شود. همچنین، نیاز به کنترلکنندههای PID وجود دارد تا بتوانند با این سرعت همگام شوند؛ در غیر این صورت، ممکن است دما بیش از حد افزایش یابد.
چرا همه به این روش روی آوردهاند؟
دلیل اصلی، سرعتی است که میتوان با آن از دمای اتاق به دمای مورد نظر رسید.
علاوه بر این، گرمای یکنواختتری در سراسر ویفر ایجاد میشود؛ دیگر نیازی نیست با جریانهای هوای ناپایدار مبارزه کنید یا انرژی زیادی را صرف گرم کردن بدنه فلزی ماشین کنید. انرژی دقیقاً در جایی که لازم است، تخصیص مییابد.
اگر خط تولید شما هنوز به فرهای حرارتی معمولی وابسته است، در واقع پول زیادی را از دست میدهید. استفاده از روش مادون قرمز به معنای بهبود فنی نیست؛ بلکه به معنای افزایش سرعت فرآیندهای تولید است.
تولید بیشتر، هزینه کمتر برای هر ویفر، و زمان کمتری برای انتظار.