در خط تولید، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند گرم کردن فوتورزیست، میتواند باعث شود که کل محموله مورد نظر به ضایعات تبدیل شود. شما به گرمایی نیاز دارید که قابل کنترل باشد؛ یعنی گرمایی که رفتار پیشبینیپذیری داشته باشد.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟ لامپهای استفاده شده در دستگاههای لیتوگرافی، نور مادون قرمز با طول موج کوتاه را تولید میکنند؛ این نور در همان ناحیهای که فوتورزیست جذب میشود، تابش پیدا میکند. به این ترتیب، گرمایش سریع و یکنواختی روی سطح وجود دارد. یکنواختی دما در کل منطقه گرمایشی، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد دستگاه نیز در هر بار تولید، یکسان است.
ساختار بدنه لامپ و منعکسکنندههای آن، برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کیفیت ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ همچنین، وجود هیچ ذرهای در اطراف لامپ، از طریق نظارت لحظهای، تأیید شده است. توان خروجی لامپ، در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کارکرد، پایدار باقی میماند؛ کاهش شدت نور نیز کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین، میزان گرمای تولید شده قابل پیشبینی است.
چرا این روش مؤثر است؟ در فرآیند خشک کردن ویفر، پالسهای سریع و کنترلشده، باعث کنترل تنش سطحی میشوند و از آلوده شدن مجدد سطح ویفر در حین سرد شدن، جلوگیری میکنند. در فرآیند گرم کردن نرم، نور مادون قرمز، محلولهای موجود را از بین میبرد، بدون اینکه ساختارهای ریز ویفر خراب شوند؛ بنابراین، کنترل عرض خطوط ویفر بهتر میشود.
در فرآیندهای گرم کردن شدید و خشک کردن کامل، همین ساختار لامپ، باعث ایجاد پیوندهای متقاطع در ساختار ویفر میشود؛ این امر باعث ایجاد چسبندگی قابل اعتماد برای مراحل بعدی تولید و بستهبندی میشود. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کمتر میشود، میزان ضایعات کاهش مییابد و زمان تولید نیز ثابت میماند.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ لامپ تنها بخشهایی را که نیاز به گرمایش دارند، گرم میکند؛ همچنین، واکنش سریع لامپ در روشن و خاموش شدن، و همچنین کاهش حجم گرمای تولید شده، از مزایای این روش است.
نکاتی که باید بدانید: تطبیق لامپ با دستگاه بسیار مهم است؛ باید مطمئن شوید که بدنه لامپ، پایه آن و سیمهای اتصال، با دستگاه لیتوگرافی یا صفحه گرمایشی هماهنگ باشند. پس از تعویض لامپ، باید انتظار داشته باشید که زمان لازم برای بازیابی تعادل دمایی و یکنواختی، کوتاه باشد.
برای دستیابی به بهترین یکنواختی، لامپ باید با ساختار خاص منعکسکنندهها و محفظه دستگاه، تنظیم شود؛ استفاده از قطعات ناسازگار، باعث کاهش عملکرد لامپ میشود. پس از نصب، باید از نوارهای آزمایشی برای بررسی الگوی دما و تعداد ذرات استفاده کرد؛ سپس، پارامترهای فرآیند را ثابت کرد.