در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۲ درجه سانتیگراد در هنگام پختن فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در کنترل عرض خطوط روی ویفر شود و در نتیجه باعث کاهش بازدهی تولید شود. ابزارهای گرمایشی معمولی سعی میکنند تا یکنواختی دما در سراسر ویفر را حفظ کنند؛ اما روش گرمایش با استفاده از امواج مادون قرمز، راهحل مناسبی برای این مشکل است.
چه چیزی اهمیت دارد؟
ماژول گرمایشی مادون قرمز ما، از اجزای کنترلشده به صورت جداگانه برای تنظیم دما در نواحی مختلف استفاده میکند؛ این کار باعث اصلاح تفاوتهای دمایی در نواحی مختلف ویفر میشود. در نتیجه، یکنواختی دما در سراسر ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد خواهد بود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری این ماژول آنقدر خوب است که امکان انجام مراحل حساس پختن ویفر در شرایط مشخص، فراهم میشود. این سختافزار برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ یعنی از موادی با میزان گاز خروجی کم، لنزهای دربسته، و ساختارهایی که از ورود ذرات جلوگیری میکنند، استفاده شده است. انتظار میرود که در هنگام پختن، هیچ ذرهای تولید نشود؛ همچنین، پایداری حرارتی این ماژول آنقدر خوب است که عملکرد ویفر در شرایط مختلف، یکنواخت باقی بماند.
چرا این ماژول در فرآیند تولید مؤثر است؟
این ماژول امکان کنترل دقیق فرآیند تولید را فراهم میکند؛ پروفایلهای گرمایشی مربوط به پختن ویفر، با انحرافات بسیار کم تکرار میشوند؛ در نتیجه، هزینههای بازسازی کاهش یافته و بازدهی تولید افزایش مییابد. پاسخ حرارتی این ماژول سریع است؛ بنابراین میتوانید زمان انجام فرآیندها را کاهش دهید، بدون اینکه کیفیت پروفایلهای گرمایشی تحت تأثیر قرار بگیرد. انرژی تنها به جاهایی تخصیص داده میشود که نیاز به آن وجود دارد؛ این امر باعث کاهش هزینههای عملیاتی میشود. همچنین، تعداد ویفرهای از کار افتاده کمتر میشود، هشدارهای کمتری ایجاد میشود، و پروفایلهای گرمایشی در شرایط ۲۴/۷، بدون هیچ اختلالی، کار خواهند کرد.
جزئیات عملی
نصب این ماژول، به مطابقت ابعاد آن با فضای مربوطه و اتصال آن به اتصالات گازی و الکتریکی موجود، بستگی دارد. ما نقشههای مربوط به اتصالات و پروتکلهای تأیید کیفیت را فراهم میکنیم. این ماژول با روشهای استاندارد مدیریت ویفرها کار میکند؛ اما برای استفاده در روشهای خاص مانند غوطهوری مستقیم ویفر در محلول، مناسب نیست. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا دستورالعملهای مربوط به پختن ویفر برای محیط خاص شما تعیین شود و یکنواختی دما در سراسر ویفر بررسی گردد.