במחלקת הייצור, שינוי של 0.1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של החומר – בהיקף של ננומטרים. זו אינה “טולרנציה” – זו כישלון בתהליך הייצור. עיצבנו את הנורות האינפרא-אדום בעלות הגל הקצר כדי להסיר את אי-הוודאות הזו, כך שהאחידות ברמת הוואפר תהיה מדד קבוע, ולא דבר שתלוי במזל.
החומר הבסיסי של הנורות הוא אינפרא-אדום בעל גל קצר – חומר זה מחמם את החומר באופן אפקטיבי ומהיר, ובעל אינרציה תרמית נמוכה. קווי הפליטה של הנורות תואמים לרמת הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת לחומר עצמו, ולא לחלקים האחרים. כך ניתן להשיג אחידות ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C, על גבי שטחי עבודה בגדלים 150/200/300 ממ. יציבות הטמפרטורה נשמרת ברמה של פחות מ-0.5°C במהלך תהליך החימום.
המבנה של הנורות והמחזירים שלהן מאפשר שליטה בהיווצרות חלקיקים, כך שרמת החלקיקים בחדר הנקי נשארת יציבה ברמה של Class 1–100. עמידות הנורות עומדת על יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה בעוצמת האור של פחות מ-5%.
בתהליכי ליתוגרפיה, זה אומר תהליכי חימום מדויקים יותר, פחות פגמים, ושליטה טובה יותר בממדים של החומר. תהליכי חימום וקירור מהירים מגדילים את הקצב של הייצור, מבלי להגדיל את הצריכה התרמית. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהנורות מחממות את החומר עצמו, ולא את החדר סביבו.
האמינות של הנורות מאפשרת פעולה 24/7, והמודולים שלהן ניתנים להחלפה בקלות, כך שהפס הייצור לא יפסיק לעבוד בגלל תקלות בלתי צפויות.
ההתקנה של הנורות פשוטה, אך יש לשים לב לאליינמנטים האופטיים ולהגנה מפני רעשי אלקטרומגנטיים בקרבת החלקים הרגישים. יש לחבר את הנורות למערכות הבקרה והאינטרלוקים הקיימים, ולבדוק את תפקודן בהתאם לדרישות של החומרים המשמשים בתהליך הייצור.
יש לבצע בדיקות תקופתיות של המחזירים וניקוי של הקוורץ. כך ניתן לשמור על אחידות ברמת הוואפר לאורך שנים, ולא רק לתקופות קצרות.