उत्पादन प्रक्रिया में, एक ही चरण में होने वाली त्रुटि से पूरी खेप का उत्पादन प्रभावित हो सकता है। तापमान में असमानता आ जाती है, फोटोरेजिस्ट की संरचना में परिवर्तन हो जाता है, और उत्पादन में कमी आ जाती है। ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु हमने ऐसे कम-लागत वाले वेफर सुखाने वाले लैंप बनाए हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह एक NIR लैंप है; इसमें स्थिर क्वार्ट्ज आवरण एवं उपयुक्त फिलामेंट है। इस कारण वेफर सुखाने, फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर तापमान पर सुखाने की प्रक्रियाओं में भी इसका आउटपुट स्थिर रहता है। इसका स्पेक्ट्रल प्रोफाइल ऐसा है कि ऊर्जा ठीक उसी जगह पहुँचती है जहाँ फोटोरेजिस्ट ऊर्जा अवशोषित करता है; इससे सब्सट्रेट ठंडा ही रहता है। हॉट-जोन में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में कणों का निर्माण नगण्य ही रहता है। 5,000 घंटों तक भी इसका आउटपुट स्थिर ही रहता है, एवं इसमें 5% से भी कम की गिरावट होती है।
लिथोग्राफी में इसका उपयोग:
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया लाइन-विड्थ नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यह NIR लैंप फोटोरेजिस्ट को तेज़ एवं समान रूप से गर्म करता है; इससे विलायक बिना किसी समस्या के ही निकल जाता है। यही लैंप क्लीन किए गए वेफरों को बिना किसी निशान के सुखाने में भी मदद करता है। इसके कारण CD समानता बेहतर होती है, पुनर्कार्यों की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है।
ऊर्जा खपत में कमी:
चूँकि इस लैंप की प्रतिक्रिया तेज़ एवं सटीक होती है, इसलिए ऊर्जा खपत कम हो जाती है। इसकी लंबी उम्र के कारण लैंप बदलने की आवश्यकता भी कम हो जाती है, जिससे बंद रहने का समय एवं अतिरिक्त लागत भी कम हो जाती है।
बदलने से पहले ध्यान रखने योग्य बातें:
यह लैंप मानक लैंप हाउसिंग के लिए ही डिज़ाइन किया गया है; इसलिए बदलने से पहले कनेक्टर के प्रकार एवं रिफ्लेक्टर की संरचना की जाँच अवश्य करें। वोल्टेज को भी सही रखें, एवं अपनी प्रक्रिया के अनुसार तापमान प्रोफाइल की भी जाँच करें।
उपयोग करते समय ध्यान रखने योग्य बातें:
यह लैंप उच्च तीव्रता पर काम करता है; इसलिए उचित सुरक्षा उपाय एवं इंटरलॉकिंग व्यवस्था आवश्यक है। सही संरेखण एवं स्वच्छ संपर्कों के कारण यह लैंप मौजूदा उपकरणों में आसानी से काम कर सकता है, एवं प्रक्रिया को सही तरीके से चलाने में मदद करता है।