लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.2°C का उतार-चढ़ाव ही लाइनविड्थ नियंत्रण को बिगाड़ने एवं उत्पादन दक्षता को प्रभावित करने के लिए पर्याप्त है। पारंपरिक हीटप्लेटों से वेफरों पर तापमान को समान रखना मुश्किल होता है; ऐसी स्थिति में “ज़ोन्ड इन्फ्रारेड हीटिंग” ही सही समाधान है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमारा “ज़ोन्ड आईआर मॉड्यूल”, स्वतंत्र रूप से नियंत्रित एनआईआर तत्वों का उपयोग करके वेफर पर तापमान को समान रखता है। इससे वेफर पर ±0.1°C की स्थिरता प्राप्त होती है, एवं महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं को निर्धारित मानकों के अनुसार ही संचालित किया जा सकता है। यह हार्डवेयर क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ही डिज़ाइन किया गया है – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों, सील्ड ऑप्टिक्स, एवं कणों को कम करने हेतु विशेष डिज़ाइन का उपयोग किया गया है। इससे बेकिंग के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं दीर्घकालिक रूप से तापीय स्थिरता बनी रहती है।
उत्पादन में इसका लाभ क्या है?
यह मॉड्यूल प्रक्रिया नियंत्रण हेतु आवश्यक सुविधाएँ प्रदान करता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में न्यूनतम विचलन होता है; इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है। तापीय प्रतिक्रिया तेज़ होने के कारण, प्रक्रिया समय में कमी आती है, बिना किसी गुणवत्ता हानि के। ऊर्जा केवल आवश्यक स्थानों पर ही खर्च होती है; इससे प्रति बैच की लागत कम हो जाती है। कम अपशिष्ट वेफर, कम अलार्म, एवं 24/7 संचालन के दौरान भी निरंतर कार्यक्षमता – यही इसके लाभ हैं।
व्यावहारिक विवरण:
इसकी स्थापना हेतु चेम्बर के आकार के अनुरूप इसे लगाना होता है, एवं इसे मौजूदा गैस/ऊर्जा इंटरफेसों से जोड़ना होता है। हम इंटरफेस ड्रॉइंग एवं सत्यापन प्रक्रियाएँ भी प्रदान करते हैं। यह मॉड्यूल मानक वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के साथ काम करता है; लेकिन इसे प्रत्यक्ष डुबकी या गीली प्रक्रियाओं हेतु उपयोग में नहीं लाया जा सकता। अपने उत्पादों हेतु उपयुक्त बेकिंग प्रक्रियाओं को निर्धारित करने हेतु एक छोटा सा परीक्षण आवश्यक है।