All’interno di una sala pulita di classe 1, il wafer da 300 mm viene posizionato sulla piastra riscaldata. La regolazione della temperatura del fotoresist avviene in modo preciso, grazie all’uso di termostati che agiscono in tempi molto brevi. Un cambiamento di temperatura di 2°C sulla superficie del wafer può causare problemi gravi: gli strati di photorester possono essere danneggiati, e tutto il lavoro svolto in una settimana può andare perso. Per evitare questi problemi, abbiamo progettato un riscaldatore a infrarossi per la camera a vuoto.
Ciò che è importante
Il riscaldatore utilizza emettitori a onde corte in quarzo per fornire calore radiante diretto; la risposta del sistema avviene in pochi millisecondi. Nell’area di lavoro, l’uniformità della temperatura rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra singoli cicli è di 0,05°C. Il corpo della camera è realizzato in acciaio inossidabile 316L, saldato per ridurre al minimo le perdite di gas. La camera è in grado di mantenere un livello di vuoto pari a 10^-6 mbar. La struttura della camera è progettata per eliminare qualsiasi generazione di particelle, anche dopo 5.000 ore di funzionamento a 250°C. La tecnologia di termometria integrata e il controllo a ciclo chiuso permettono di mantenere la temperatura desiderata senza variazioni durante i processi di riscaldamento.
Perché questo sistema funziona bene nel trattamento dei photoresist
Il bilancio termico è molto preciso. Il riscaldatore permette di ottenere profili di riscaldamento precisi, il che aiuta a stabilizzare le dimensioni critiche del wafer e a ridurre i ritocchi necessari. Il rapido aumento della temperatura riduce i tempi di processo, mentre la bassa massa termica riduce il consumo di energia. In questo modo si ottiene un risultato costante sia nelle linee di produzione da 200 mm che da 300 mm, con meno scarti, meno tentativi falliti e periodi di manutenzione più pianificabili.
Cosa bisogna considerare
L’installazione richiede che la geometria della camera e l’emissività degli elementi utilizzati siano compatibili tra loro; inoltre, è necessario regolare il riscaldatore in base al carico termico specifico. È consigliabile effettuare delle verifiche periodiche sugli emettitori e una calibrazione annuale per mantenere l’uniformità della temperatura entro i ±0,1°C, requisito essenziale per garantire che il processo funzioni correttamente.