반도체 리소그래피용 오븐 램프

팹에서는 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 전체 생산량이 폐기물로 변해버립니다. 예측 불가능한 열 처리는 필요 없습니다. 일관된 성능을 보여주는 열 처리가 필요합니다. 기술적으로 중요한 점 당사의 리소그래피 오븐용 램프는 고정밀한 스펙트럼...