웨이퍼용 고정밀 IR 센서

왜 웨이퍼 가공에 강제 공기 난방 대신 적외선 난방을 사용하는가? 반도체 가공 분야에서 일해본 사람이라면 기다리는 시간이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다. 특히, 뜨거운 공기를 이용해 웨이퍼의 온도를 올리는 데 걸리는 시간이 문제입니다. 문제는 강제 공기 난방이 너...