Mengurangkan pembaziran tenaga dalam proses pengeluaran separuh siap: Kisah sebenar tentang pemanasan menggunakan cahaya inframerah
Jika kita benar-benar ingin mencapai sasaran kesetaraan karbon di kilang-kilang semikonduktor, kita perlu menghentikan pembaziran tenaga yang berlaku semasa proses pemanasan. Selama ini, semua orang menggunakan pemanas jenis resistan untuk tujuan ini. Namun, pemanas tersebut tidak efisien.
Kami telah beralih kepada lampu inframerah yang sesuai digunakan dalam keadaan vakum. Daripada memanaskan seluruh ruang vakum—yang merupakan pembaziran tenaga yang besar—lampu ini memancarkan haba secara langsung ke arah wafer tersebut. Sangat mudah.
Bagaimana ia berfungsi dalam keadaan vakum
Dalam keadaan vakum, konveksi tidak berlaku, jadi hanya radiasi sahaja yang digunakan untuk memanaskan bahan tersebut. Kami merancang lampu inframerah agar dapat memancarkan radiasi gelombang pendek. Radiasi ini akan menembusi bahan tersebut tanpa membuang tenaga untuk memanaskan dinding ruang vakum atau gas yang ada di sana. Dengan cara ini, proses pengeluaran menjadi lebih efisien.
Namun, ada satu masalah. Oleh kerana tiada udara untuk mengalirkan haba, permukaan lampu menjadi sangat panas dengan cepat. Untuk memastikan kebersihan, kami menggunakan kapsul kuarsa yang berkualiti tinggi. Jika menggunakan kuarsa yang murah, ia akan menyebabkan pelepasan gas, dan ini akan merosakkan silikon yang digunakan.
Kita juga perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan. Tanpa udara untuk menyejukkan bahan tersebut, wafer tidak dapat melepaskan haba berlebihan. Jika kuasa yang digunakan terlalu tinggi, wafer akan rosak.
Menjimatkan tenaga dan ruang
Kelebihan utama penggunaan lampu inframerah adalah masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan. Pemanas jenis resistan memerlukan masa yang lama untuk memanaskan bahan tersebut. Sebaliknya, sistem inframerah dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini bermakna kita dapat menggunakan masa yang lebih sedikit untuk proses pemprosesan.
Selain itu, lampu inframerah ini mempunyai kuasa yang tinggi tetapi佔 ruang yang sangat sedikit. Ini bermakna kita dapat mengurangkan ruang yang diperlukan untuk pemanas, dan memberi ruang yang lebih banyak untuk alat-alat lain di bilik bersih tersebut.
Kerugian yang perlu dihadapi
Walaupun lampu inframerah sangat efisien, ia juga memberi tekanan pada sistem kabel dan bekalan kuasa. Apabila kuasa yang tinggi digunakan dalam keadaan vakum, sistem penyejukan perlu berfungsi dengan sempurna. Jika sistem penyejukan gagal, lampu tersebut akan rosak dengan cepat kerana tiada tempat untuk melepaskan haba.