Het verminderen van verspillingen bij semi-afgewerkte producten: de waarheid over IR-verwarming
Als we echt die doelstellingen op het gebied van koolstofneutraalheid in halfgeleiderfabrieken willen bereiken, moeten we stoppen met zoveel energie te verspillen tijdens het verhitten van de producten. Lang hebben ze gewoon traditionele resistieve verwarmers gebruikt. Maar deze zijn inefficiënt.
We zijn overgestapt op infraroodlampen die geschikt zijn voor gebruik in een vacuüm. In plaats van de hele vacuümkamer op te warmen – wat een enorme verspilling van energie is – richten deze lampen de hitte rechtstreeks op het product. Eenvoudig.
Hoe het werkt in een vacuüm
In een vacuüm werkt de fysica anders: convectie verdwijnt namelijk. Er blijft alleen nog straling over. We ontwerpen onze IR-lampen zodat ze kortegolfradiatie uitzenden. Deze straling dringt rechtstreeks door tot het product, zonder dat er energie wordt verspild aan het opwarmen van de wanden van de kamer of de gasen die zich daarin bevinden. Hierdoor kan het proces efficiënter verlopen.
Er is echter één nadeel: omdat er geen lucht is om de hitte te verspreiden, wordt het oppervlak van de lamp erg heet. Om dit te voorkomen, gebruiken we kwartsbekleding van hoge kwaliteit. Als je goedkope kwarts gebruikt, kan dat leiden tot vervuiling van het siliciumproduct.
We moeten ook goed opletten met de vermogenssterkte. Zonder lucht om de hitte af te voeren, kan het product de overtollige hitte niet kwijtraken. Als je te veel vermogen gebruikt, kan het product beschadigen.
Energie en ruimte besparen
De grootste voordelen zijn de kortere opstarttijd en de mogelijkheid om meer tijd te besteden aan het verwerken van componenten. Bovendien nemen deze apparaten weinig ruimte in beslag. Hierdoor kun je meer ruimte maken voor andere apparaten in je schone ruimte.
De nadelen
Hogespectrum-IR-verwarming is geen magische oplossing. Het legt veel druk op de bedrading en de stroomvoorziening. Als je zoveel vermogen gebruikt in een klein vacuümhuisje, moeten de koelingssystemen perfect werken. Als dit niet lukt, zal de lamp snel kapotgaan, omdat er nergens hitte naartoe kan worden geleid.