In een schone ruimte van klasse 1 wordt een 300 mm grote siliciumplaat op de hete plaat geplaatst. De fotoreductiemiddelen worden geregeld door temperaturen, en niet door wensdenken. Een verschil van 2°C op het oppervlak kan ertoe leiden dat de CD’s verplaatsen, de lagen die worden gebruikt in het lithografieproces worden beschadigd, en dat er een week lang geen productie mogelijk is. We hebben dus een infraroodverwarmer in de vacuümkamer geïnstalleerd, zodat er geen sprake meer is van geruchtmakingen bij het bepalen van de juiste temperatuur.
Wat belangrijk is onder het oppervlak De verwarmer maakt gebruik van korte-golfkwartsemitters voor rechtstreekse stralingswarmte, met een reactietijd van milliseconden. Over het actieve gebied blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende behandelingen op 0,05°C ligt. Het behuizing van de kamer is gemaakt van elektropolijstbaar 316L-roestvrij staal; dit materiaal wordt gefabriceerd door middel van lassen, zodat er minder gasontlasting optreedt. De kamer kan een vacuüm van 10^-6 mbar weerstaan. De constructie is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd, zelfs na 5.000 uur gebruik bij 250°C. Dankzij de geïntegreerde pyrometrie en de gesloten regelingscyclus blijft de gewenste temperatuur behouden, zonder dat er fouten optreden tijdens het proces.
Waarom dit werkt bij het verwerken van fotoreductiemiddelen Het thermische evenwicht is belangrijk. De verwarmer zorgt voor precieze temperatuurprofielen tijdens het proces, waardoor de cruciale dimensies stabiel blijven en er minder herwerk nodig is. De snelle temperatuurstijging verkort de cycletime, en de lage thermische massa zorgt ervoor dat er minder energie wordt verbruikt. Hierdoor wordt de productieconversie op 200 mm- en 300 mm-linies constanter, zijn er minder defecten, minder pogingen tot herwerk, en kunnen de onderhoudswerkzaamheden beter worden gepland.
Wat je moet meenemen in overweging Voor de installatie moet je rekening houden met de geometrie van de kamer en de emissiviteit van de componenten. Daarnaast moet de verwarmer worden aangepast aan de specifieke thermische belasting. Er zal waarschijnlijk een korte instellingsperiode nodig zijn om de juiste positie van de pyrometer en de snelheid van de temperatuurstijging in te stellen. Eenmaal ingesteld, werkt het systeem goed. Maar plan wel om kwartaalsgewijs de emissoren te controleren en jaarlijks de verwarmer opnieuw te kalibreren, zodat de uniformiteit van ±0,1°C wordt behouden en het proces binnen de vereisten blijft.