Op de lithografieafdeling is een verschil van 0,2°C tijdens het verhitten van de fotorezyst voldoende om de controle over de dikte van de lijnen te verstoren en daarmee ook de productiegraad te beïnvloeden. Conventionele warmtebronnen proberen de uniformiteit over het hele plaatje te behouden, terwijl ze zich binnen de gestelde thermische grenzen bevinden. Zonegerichte infraroodverwarming is hier een oplossing voor.
Wat er eigenlijk belangrijk is Ons zonegerichte IR-module maakt gebruik van apart te bedienen NIR-elementen om de temperatuur in verschillende zones nauwkeurig te meten. Hierdoor kunnen oneffenheden tussen randen en het midden van het plaatje worden gecorrigeerd. Er wordt een uniformiteit van ±0,1°C bereikt, zodat alle kritieke verhittingsstappen binnen de vereiste parameters blijven. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig dampen afgeven, de optica is afgesloten en er zijn maatregelen genomen om het aantal deeltjes zo laag mogelijk te houden. Tijdens het verhitten komt er geen enkel deeltje vrij, waardoor de thermische stabiliteit op de lange termijn behouden blijft.
Waarom het werkt in de productie Dit module biedt procescontrole die gemeten kan worden. De verschillende verhittingsprofielen herhalen zich met minimale afwijkingen, waardoor er minder herwerk nodig is en de productiegraad stijgt. De thermische respons is snel, zodat de cyclustijden verkort kunnen worden zonder dat de kwaliteit van het product afneemt. Energie wordt alleen gebruikt waar het nodig is, waardoor de kosten per lading dalen. Er zijn minder afgedankte platen, minder alarmsignalen, en het verhittingsprofiel blijft stabiel, zelfs bij 24/7 gebruik.
De praktische details De installatie vereist dat de afmetingen van de kamer overeenkomen met die van het apparaat, en dat het apparaat kan worden aangesloten op de bestaande gas- en stroomvoorziening. Wij leveren de benodigde technische specificaties en validatieprotocollen. Het apparaat werkt goed met standaardapparatuur voor het hanteren van platen, maar het is niet geschikt voor gebruik in natte processen. Plan een kort testproces om de optimale instellingen vast te stellen en de uniformiteit over de verschillende productsoorten te controleren.