Na sala limpa de classe 1, uma wafer de 300 mm é colocada sobre a placa quente. O fotoreativo é ajustado de acordo com a temperatura, e não por meio de suposições. Uma variação de 2°C na superfície pode afetar negativamente o processo de litografia, causando perdas significativas de produção. Por isso, desenvolvemos um aquecedor infravermelho para a câmara de vácuo, a fim de eliminar essa incerteza no processo.
O que é importante no funcionamento do equipamento
O aquecedor utiliza emissores de quartzo de onda curta para fornecer calor radiante direto, com resposta em milissegundos. Na área ativa da câmara, a uniformidade de temperatura fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes ciclos de tratamento é de 0,05°C. O corpo da câmara é feito de aço inoxidável 316L, eletropolido, o que reduz a emissão de gases. A câmara consegue manter um vácuo de até 10^-6 mbar. Sua construção compatível com salas limpas garante que não haja geração de partículas, mesmo após 5.000 horas de funcionamento a 250°C. A termometria integrada e o controle em ciclo fechado permitem manter a temperatura estável durante os processos de tratamento.
Por que isso funciona no processamento do fotoreativo
O orçamento térmico é limitado. Esse aquecedor oferece perfis de aquecimento precisos, o que ajuda a estabilizar as dimensões críticas dos componentes e reduzir a necessidade de retrabalho. A rápida aceleração do aquecimento diminui o tempo de ciclo, enquanto a baixa massa térmica reduz o consumo de energia. Isso resulta em alta taxa de produção nas linhas de 200 mm e 300 mm, com menos desperdícios e necessidade de retrabalhos. Além disso, é possível planejar melhor os períodos de manutenção.
O que precisa ser levado em consideração
A instalação requer que a geometria da câmara e a emissividade do material utilizado sejam adequadas. Além disso, é preciso ajustar o aquecedor de acordo com a carga térmica específica. Esperar-seá um breve período de ajuste para configurar a posição do termômetro e as taxas de aquecimento. Uma vez configurado, o sistema funcionará de maneira estável. No entanto, são necessárias inspeções trimestrais aos emissores e recalibrações anuais para manter a uniformidade de temperatura de ±0,1°C, o que é essencial para que o processo funcione corretamente.