На производственной площадке один лишь случай отклонения температуры в процессе сушки пластин достаточен для того, чтобы это повлияло на всю партию готовой продукции. Ухудшается равномерность температуры, меняется профиль поглощения света фоторезистом, что также влияет на качество продукции. Мы создали эту недорогую лампу для сушки пластин, чтобы предотвратить подобные отклонения на самом начальном этапе.
Что имеет техническое значение Это лампа в диапазоне ИК-света с стабильной кварцевой оболочкой и соответствующим филаментом. Благодаря этому мощность излучения остается стабильной во время сушки пластин, а также в процессах размягчения и полного высыхания фоторезиста. Спектральный профиль излучения позволяет направлять энергию туда, где фоторезист её поглощает, что снижает тепловую нагрузку на пластину при одновременном сохранении её прохладности. Равномерность температуры в зоне нагрева составляет ±0,1°C, а количество частиц, образующихся в чистых помещениях класса 1–100, минимально. Мощность лампы остается стабильной в течение более 5 000 часов, с падением не более 5%.
Почему это работает в литографии В литографии процесс размягчения фоторезиста необходим для контроля ширины линий на пластине. Эта лампа быстро и равномерно нагревает фоторезист, что позволяет растворителям уходить без образования поверхностных неровностей. Та же лампа используется для сушки пластин после очистки без образования следов, а также для процессов высыхания фоторезиста без его перегрева. В результате достигается лучшая равномерность параметров пластины, меньше необходимости в повторных процедурах, а также более предсказуемые временные рамки выполнения работы.
Потребление энергии снижается благодаря быстрой и точной реакции лампы, а её долговечность сокращает количество необходимостей в замене лампы, простоях и расходах на запасные части.
Что нужно учитывать перед заменой лампы Лампа предназначена для использования в стандартных корпусах. Перед заменой необходимо проверить тип разъема и геометрию отражателя. Также необходимо убедиться, что напряжение соответствует требованиям процесса, а также проверить профиль температуры.
Лампа работает с высокой интенсивностью, поэтому необходимо использовать соответствующие защитные устройства. При правильной настройке и чистых контактах лампа может быть использована в существующем оборудовании, сохраняя стабильность процесса.