
ในสายการผลิต ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบฟิล์มโฟโตรีซิสต์หรือการอบแผ่นวีเดียร์นั้นไม่ใช่เรื่องที่สามารถมองข้ามได้ แต่เป็นปัจจัยที่ส่งผลต่อคุณภาพการผลิตโดยตรง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ก็สามารถส่งผลต่อค่ามิติสำคัญของชิ้นงานได้ และการเพิ่มอุณหภูมิอย่างช้าๆ ก็จะส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการอบ ดังนั้นจึงมีการใช้หลอดไฟที่ให้ความร้อนจากน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญภายในหลอดไฟ
เราเลือกใช้หลอดไฟที่แผ่รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งอยู่ภายในเปลือกควอตซ์ โดยออกแบบมาให้เข้ากับคุณสมบัติการดูดซับแสงของน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูงและฟิล์มโฟโตรีซิสต์ ทำให้เกิดการถ่ายโอนพลังงานได้อย่างรวดเร็ว โดยมีความร้อนที่เกิดขึ้นน้อยที่สุด อุณหภูมิบนพื้นผิวจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็ถูกควบคุมไว้ได้อย่างดีด้วยระบบควบคุมแบบรอบปิด หัวหลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความบริสุทธิ์สูง ตั้งแต่ระดับ Class 1 ถึง 100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ และยังช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ดี
เหตุใดจึงเหมาะกับกระบวนการผลิต
ในกระบวนการอบแผ่นวีเดียร์ หลอดไฟนี้ช่วยลดเวลาการอบ โดยยังคงรักษาความสะอาดของพื้นผิวไว้ได้ ในกระบวนการลิโธกราฟี หลอดไฟนี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม ซึ่งช่วยปรับปรุงคุณภาพของชิ้นงาน ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ หลอดไฟนี้ช่วยลดเวลาการอบ โดยไม่ส่งผลเสียต่อความสามารถในการยึดเกาะของวัสดุ ในกระบวนการทำความสะอาดและอบ หลอดไฟนี้ช่วยให้วัสดุแห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้เกิดการสะสมของสารต่างๆ อีกครั้ง ทำให้ลดขยะและความจำเป็นในการทำงานซ้ำลง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกนำไปใช้ในกระบวนการผลิตโดยตรง ไม่ได้สูญเสียไปกับห้องโดยรอบ
สิ่งที่ต้องคอยดูแล
หลอดไฟนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่องมืออบที่มีอยู่ได้ แต่การปรับตำแหน่งหลอดไฟให้ตรงกับพื้นผิวของวัสดุนั้นเป็นสิ่งสำคัญมาก เพื่อให้อุณหภูมิสม่ำเสมอ ควรมีเวลาสั้นๆ ในการปรับค่าการไหลของพลังงาน ความหนาแน่นของพลังงาน และอุณหภูมิที่เหมาะสม แม้ว่าควอตซ์จะมีความทนทาน แต่ก็ยังต้องมีการดูแลอย่างระมัดระวัง และมีการตรวจสอบเป็นระยะๆ เพื่อให้หลอดไฟยังคงทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ