Üretim alanında, fotoğraf direncinin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,1°C’lik bir değişiklik bile kritik boyutları nanometreler düzeyinde etkileyebilir. Bu bir “tolerans” değildir; bu durumda ürünler atık olarak kabul edilir. Bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için kısa dalga boylu kızılötesi lambalar geliştirdik. Böylece wafer seviyesindeki tutarlılık bir standart haline gelir ve sadece bir umut olmaktan çıkar.
Kullanılan kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar, hızlı bir şekilde ve düşük termal inersiyetle ısı yaydığı için tercih edilmiştir. Işınların frekansı, yaygın olarak kullanılan fotoğraf dirençlerinin enerjiyi nasıl emdiğiyle uyumludur; böylece enerji film içine girer, taşıyıcıya değil. 150/200/300 mm boyutundaki substratlar üzerinde wafer seviyesindeki tutarlılık ±0,1°C aralığında sağlanır ve ısıtma sürecinde sıcaklık stabilitesi 0,5°C’nin altındadır.
Kvarts kaplamalar ve yansıtıcı yapılar, parçacık oluşumunu en aza indirmek için tasarlanmıştır. Böylece temiz oda koşullarında parçacık sayısı Class 1–100 seviyelerinde sabit kalır. Lambanın verimi 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten daha az bir düşüşle devam eder.
Litografi sistemlerinde bu durum, daha hassas ısıtma parametreleri, daha az kusur ve güvenilir bir CD kontrolü anlamına gelir. Daha hızlı ısıtma ve soğutma süreçleri, ekstra ısı gereksinimi olmadan üretim verimliliğini artırır. Lamba, çevresindeki odanın yerine hedefi ısıttığı için enerji tüketimi azalır.
Cihazlar 24/7 çalışmak üzere tasarlanmıştır ve modüller sıcak değiştirilebilir olduğundan planlanmayan arızalar bile üretimi durdurmaz.
Montajı standart raylar üzerinde oldukça basittir; ancak hassas bölgelerde optik hizalama ve EMI korumasına dikkat edilmelidir. Mevcut sıcaklık kontrol cihazları ve güvenlik sistemleriyle entegre edilmeli ve ısıtma profili de fotoğraf direnciyle uyumlu olacak şekilde doğrulanmalıdır.
Düzenli olarak yansıtıcıların ve kvartsın temizlenmesi gerekmektedir. Böylece yıllar boyunca tutarlılık sağlanabilir.