Чому ми відмовляємося від використання примусового повітря для нагріву під час обробки пластин у напівпровідниковій промисловості
Якщо ви коли-небудь працювали з напівпровідниками, то знаєте, наскільки дратує процес очікування – а саме очікування того моменту, коли пластина досягне потрібної температури за допомогою гарячого повітря.
Проблема полягає у тому, що примусове повітря є дуже повільним засобом нагріву. Ви фактично просто розносите гарячий газ навколо пластини, сподіваючись, що він ефективно передасть тепло до неї. Це створює значні затримки у процесі нагрівання.
А ось інфрачервоне нагрівання – це інший підхід. Замість того, щоб використовувати повітря, інфрачервоне випромінювання безпосередньо впливає на поверхню пластини.
Це схоже на різницю між намаганням зігріти руки, розмахуючи ними у теплому вітрі, та стоянням прямо перед багаттям.
Швидкість є ключовим фактором у цьому процесі. Повітря є поганим провідником тепла. Коли використовується вентилятор, потрібно чекати, поки повітря нагріється, а потім ще й чекати, поки тепло потрапить у пластину. За допомогою інфрачервоних ламп енергія потрапляє на поверхню майже миттєво.
Це дозволяє скоротити час нагрівання з хвилин до секунд. Якщо ви працюєте 24/7, ці заощаджені секунди швидко накопичуються. Ви можете обробити більше пластин, не потребуючи додаткового простору чи нових пристроїв.
Крім того, контроль температури є значно кращим. Ми використовуємо інфрачервоні датчики для безперервного контролю температури. Старі термопари є неефективними – їм потрібен фізичний контакт з поверхнею, а їхня реакція є повільною. Інфрачервоні датчики просто вимірюють емісію тепла з поверхні. Якщо щось йде не так, можна швидко змінити потужність нагріву.
Це допомагає уникнути ситуації, коли краї пластини перегріваються, а середина залишається прохолодною.
Але це не так просто, як здається. Інфрачервоне нагрівання створює високу концентрацію тепла. Ця швидкість може пошкодити ваше обладнання, якщо система охолодження не витримує таких навантажень. Ви можете пошкодити саму пластину чи корпус датчика, якщо система охолодження недостатньо потужна.
Перед тим, як використовувати інфрачервоне нагрівання, потрібно ретельно проаналізувати всі аспекти.
Проте, для виробництва великих обсягів продукції це є найкращим рішенням. Ви жертвуєте простотою використання вентилятора заради високої швидкості, а в цьому бізнесі швидкість є все.