Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ khi xảy ra sự cố
Trong nhà máy sản xuất wafer, việc đèn bị hỏng thật sự là một thảm họa. Điều tồi tệ không chỉ nằm ở việc máy phải ngừng hoạt động vài giờ mà thôi. Nếu ống thủy tinh bị vỡ dưới áp lực lớn, những mảnh thủy tinh và các mảnh tungsten sẽ rơi xuống, gây ô nhiễm cho các tấm silic. Như vậy, một sự cố nhỏ có thể biến thành một thảm họa nghiêm trọng.
Chúng tôi thiết kế các đèn sấy bằng tia hồng ngoại để ngăn chặn điều này xảy ra.
Ngăn chặn các mảnh vụn
Chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao, vì loại thủy tinh này có khả năng chịu đựng được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng. Nhưng chúng tôi không dừng lại ở đó. Chúng tôi còn bọc các đèn trong lớp vỏ bảo vệ hoặc lớp phủ đặc biệt. Điều này giống như một “lưới an toàn” – nếu sợi dây tóc của đèn bị gãy hoặc ống thủy tinh bị nứt, lớp vỏ bảo vệ sẽ giữ lại tất cả các mảnh vụn, giúp các tấm wafer luôn được giữ sạch.
Xử lý vấn đề liên quan đến nhiệt độ
Khi sản xuất diễn ra với tốc độ cao, các ống thủy tinh sẽ phải chịu áp lực lớn. Hầu hết các ống thủy tinh đều bị vỡ do các điểm nóng quá cao. Để khắc phục điều này, chúng tôi chú trọng đến cách cuốn sợi dây tóc và các đầu nối của đèn. Chúng tôi đảm bảo rằng nhiệt độ được phân bố đều khắp ống thủy tinh, nhằm tránh các điểm yếu.
Một mẹo nhỏ: hãy kiểm tra hệ thống làm mát của đèn. Nếu không khí xung quanh vỏ đèn quá nóng, ngay cả loại thủy tinh tốt nhất cũng sẽ bị hỏng.
Những chi tiết nhỏ nhưng quan trọng
Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì việc kết nối lỏng lẻo sẽ gây ra nhiều vấn đề. Các đầu nối lỏng lẻo có thể gây ra hiện tượng phóng điện, dẫn đến việc đèn bị quá nhiệt và hỏng. Ngược lại, việc kết nối chắc chắn sẽ giúp đèn không bị rung lắc khi máy hoạt động.
Sự thật là: không có đèn nào có thể hoạt động mãi mãi. Chúng tôi không hứa rằng đèn sẽ không bao giờ hỏng. Nhưng chúng tôi hứa rằng khi đèn hết tuổi thọ, nó sẽ không làm hỏng toàn bộ lô wafer mà bạn đang sản xuất.