Ngăn chặn cảnh tượng kinh hoàng khi bóng đèn nổ trong quy trình xử lý wafer
Nếu bạn từng vận hành máy móc với công suất cao, bạn chắc hẳn hiểu rõ mức độ căng thẳng mà điều đó gây ra. Những bóng đèn hồng ngoại này phải chịu áp lực rất lớn. Và khi một bóng đèn bị nổ, thì đó chính là thảm họa. Mảnh thủy tinh và các chất hóa học bay tứ tung, gây ô nhiễm cho các wafer và làm giảm tỷ lệ sản xuất ngay lập tức. Đó là tình trạng hỗn loạn mà không ai muốn đối mặt.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này. Chúng tôi sử dụng vật liệu nhôm có độ tinh khiết cao, được phủ lớp anode đặc biệt. Việc này không chỉ giúp phản chiếu năng lượng hồng ngoại trở lại về phía wafer, mà còn tạo thành một “bức tường” bảo vệ wafer khỏi các tác động xấu.
Cách thức hoạt động
Chúng tôi sử dụng nhôm có độ tinh khiết cao, được phủ lớp anode đặc biệt. Điều này giúp phản chiếu năng lượng hồng ngoại trở lại về phía wafer, đồng thời tạo thành bức tường bảo vệ wafer khỏi các tác động xấu. Nếu bóng đèn bị nổ do tác động nhiệt, vật liệu phản chiếu sẽ giúp giữ lại các mảnh vỡ trong đó. Nhờ vậy, bạn không cần phải dừng toàn bộ quy trình sản xuất chỉ để làm sạch wafer sau mỗi lần bóng đèn bị nổ.
Yếu tố nhiệt độ
Những vật liệu phản chiếu này được thiết kế để chịu được mật độ nhiệt cao. Bằng cách điều chỉnh điểm tập trung của ánh sáng, chúng ta có thể đảm bảo rằng nhiệt lượng chỉ tác động lên wafer, chứ không phải vào khung máy. Tuy nhiên, có một trở ngại: điểm tập trung càng chặt thì nhiệt độ càng cao. Nếu quạt làm mát yếu, vật liệu phản chiếu có thể bị nóng quá mức, dẫn đến việc lớp phủ bị hư hại. Đây là vấn đề dễ giải quyết, nhưng bạn cần phải theo dõi định kỳ mỗi 2.000 giờ hoạt động của máy. Chỉ cần kiểm tra nhanh để đảm bảo mọi thứ vẫn ổn.
Cách lắp đặt
Chúng tôi thiết kế các vật liệu phản chiếu này sao cho có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải thiết kế lại toàn bộ cấu trúc máy hay di chuyển thiết bị để lắp chúng vào. Vật liệu phản chiếu được gắn ngay quanh bóng đèn. Nếu bóng đèn bị hỏng, các mảnh vỡ sẽ bị giữ lại trong vật liệu phản chiếu. Nhờ vậy, việc thay thế bóng đèn trở nên dễ dàng hơn nhiều. Bạn chỉ cần tháo bóng đèn cũ và vật liệu phản chiếu ra, loại bỏ các mảnh vỡ, rồi lắp bóng đèn mới vào. Như vậy, bạn có thể tiếp tục sản xuất mà không gây ảnh hưởng đến toàn bộ lô sản phẩm còn lại.