超纯水加热灯

在芯片制造过程中，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中的温度波动并非无关紧要的问题——它实际上会直接影响产品的良率。哪怕只有0.5℃的温差，都可能改变关键尺寸的精度。而缓慢的温度上升则会导致无法承受的热量积累。因此，需要使用超纯水加热灯来确保这些工艺步骤始终在可控范围内进行。 关键所在 我们选用了封装在石英...