在芯片制造车间里，只要有一个烘焙步骤不符合标准，就足以导致整批产品的质量下降。此时，温度均匀性会受到影响，光刻胶的厚度也会发生变化，进而降低产品合格率。我们设计了这种低成本的光罩烘干灯，旨在从源头避免此类问题。 技术上的关键点 这是一种近红外灯，拥有稳定的石英外壳以及匹配良好的灯丝结构，因此其输出...

OLED 线上的烘干不是暂停，而是控制点 晶圆经过清洗后，需要一个稳定的表面以进行光刻。光刻胶烘干不足会导致边缘积胶，进而引起叠层偏移。烘烤不均匀则会使线宽分布变宽，良率下降。我们设计的红外烘干灯就是为消除这种工艺变异而生。 技术要点 我们采用短波红外发射器，配备快速响应的灯丝和石英光学元件，能量...

在生产线上，即使是微小漂移的层压加热器也会使光刻胶厚度变得不可预测。你可以在桥接迹线、侧壁条纹和开发后被废弃的晶圆中看到这一点。我们设计的干膜光刻胶层压加热器旨在消除这种变动性。因为在这个行业，产率是以纳米为单位来衡量的，而不是以意见为标准。 关键在于温度。结果是均匀性。我们使用短波红外元件，配备...