减少半成品加工过程中的能量浪费：红外加热技术的真谛 如果我们真的想实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止在加热过程中浪费如此多的能源。长期以来，人们一直使用传统的电阻式加热器。但问题是，这类加热器的效率极低。 我们现在改用与真空环境相兼容的红外灯。相比那种试图加热整个真空腔体的方式——这无疑是一种...

在一级洁净室中，300毫米直径的晶圆被放置在加热板上。光阻层的固化是通过温度来控制的，而非凭经验判断。表面温度哪怕只有2摄氏度的变化，都可能影响光刻质量，甚至导致一周的加工成果付诸东流。为此，我们设计了真空室内的红外线加热器，从而消除这种不确定性。 关键所在 该加热器采用短波石英发射器，能够实现快...