Lassen Sie uns über die Nutzung von UHP-Infrarotheizungen in Ihrer Fabrik sprechen.
Wir fertigen Heizlampen mit ultrahoher Reinheit her – schließlich wissen wir, wie stressig der Prozess der Waferverarbeitung sein kann, wenn man um jeden Prozentpunkt der Produktivität kämpfen muss. Heutzutage strebt jeder danach, „grüne Fabriken“ zu schaffen – doch für uns ist das Ganze viel einfacher. Der Übergang von der resistiven Heizung zur Kurzwellen-Infrarotheizung ist schließlich gesunder Menschenverstand – dadurch wird Energie eingespart.
Das Problem mit der alten Methode
Stellen Sie sich einen herkömmlichen resistiven Ofen vor: Es ist, als würde man versuchen, ein ganzes Haus zu heizen, nur um eine Tasse Kaffee zu erwärmen. Man verschwendet dabei enorme Mengen an Energie, um die Wände des Ofens zu erhitzen.
Unsere UHP-Lampen tun das nicht. Sie heizen direkt das Substrat. Da die Energie auf eine bestimmte Wellenlänge fokussiert wird, verkürzen sich die Aufwärmzeiten. Die Maschinen verbringen weniger Zeit damit, untätig herumzustehen, und mehr Zeit damit, tatsächlich zu arbeiten. Dadurch entsteht deutlich weniger Wärmebelastung.
Eine wichtige Warnung:
Die hohe Leistungsdichte ist zwar gut für die Geschwindigkeit, doch sie belastet die Stromversorgung stark. Wenn Sie Hochspannungsanlagen einsetzen, stellen Sie sicher, dass Ihre elektrischen Anlagen diesen Anstieg bewältigen können. Man möchte schließlich nicht, dass die Schalter während des Startvorgangs auslösen.
Der Kampf gegen Kontaminationen
Wir alle wissen, dass schon ein paar Staubpartikel dazu führen können, dass die Produktivität sinkt. Das ist ein Albtraum.
Deshalb verwenden wir synthetischen Quarz mit nahezu null metallischen Verunreinigungen. Zudem reinigen wir die Lampen, um flüchtige organische Verbindungen zu entfernen. So müssen Sie während der ersten Verarbeitungsrunden keine Probleme mit Ausgasungen haben.
Was ist mit den Anschlüssen?
Wir legen großen Wert auf die Qualität der Anschlüsse. Wir verwenden spezielle Dichtungen – denn undichte Anschlüsse stellen nicht nur ein elektrisches Risiko dar. Wenn Sauerstoff in die Vakuum- oder Inertgasumgebung gelangt, kann er die Oberfläche des Wafers beschädigen, bevor man es überhaupt bemerkt.
Die Realitätsabwägung
Der Umstieg auf Infrarotheizungen senkt zwar den Energieverbrauch pro Wafer – doch die IR-Lampen halten nicht ewig. Die Filamente verdampfen im Laufe der Zeit. Das ist einfach Physik. Um den Prozess stabil zu halten, muss man auf einen geeigneten Austauschzeitplan achten.
Warten Sie auf keinen Fall darauf, dass eine Lampe mitten in einer Charge ausfällt. Es wäre ein Fehler, ganze Chargen wegen einer kaputten Lampe wegzuwerfen.