洗浄工程でランプが壊れる心配はもういりません。
大量生産を行っている最中にランプが故障すると、それは大変な問題です。単に停止時間が長くなるだけではありません。石英管が割れてしまうと、ガラスの破片や化学物質が製品全体に散らばってしまいます。一度でも故障すれば、何千ドルもの損失になってしまいます。
だからこそ、私たちは防水機能を備えた赤外線ランプを開発したのです。故障が起きる前にそれを防ぎたかったのです。
では、なぜこのようなランプが壊れてしまうのでしょうか？
主に熱ショックが原因です。冷たい洗浄水が高温の石英管に当たると、素材が不均等に収縮し、微細な亀裂が生じます。そして最終的には、ランプが割れてしまいます。
これを防ぐために、特別な防水コーティングを施しました。これは、液体が石英管に直接触れないようにする、薄くて化学的に安定した保護層のようなものです。これにより、管壁の温度変化を緩和し、ガラスが壊れるのを防ぎます。
悪影響を防ぐ
ガラス自体は問題ないかもしれませんが、実際に問題になるのはエンドキャップ部分です。そこが漏れの原因になります。
私たちは高温真空封止技術を用いて、水分がハロゲンサイクル内に入らないようにしています。もし水分が入ってしまうと、フィラメントは瞬時に焦げてしまいます。内部を完全に乾燥させ、外部を保護することで、ウェーハに粒子が付着するリスクを回避できます。
正直な代償
正直なところ、防水処理にはコストがかかります。石英管に施されるどんなコーティングも、少しだけIRエネルギーを吸収してしまいます。そのため、完全に何も塗っていない場合と比べて、熱密度が若干低下します。
それは小さな代償ですが、目標温度を達成するためには、出力を上げたり、保持時間を調整したりする必要があるかもしれません。また、電源が余分な負荷に耐えられるかも確認しておく必要があります。
結局のところ、純粋な熱と安心感の間の選択です。私たちは常に安心感を選びます。