생산 현장에서는, 단 한 번의 굽기 과정에서도 기준을 벗어나면 전체 생산량에 영향을 미칩니다. 온도의 균일성이 저하되고, 포토레지스트의 성질도 변하며, 그로 인해 생산 효율도 떨어집니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 저비용의 웨이퍼 건조용 램프를 개발했습니다....

OLED 라인에서 건조는 멈춤이 아니다. 제어 지점이다. 웨이퍼는 린스 후 나와서 리소그래피 전에 안정된 표면 상태여야 한다. 포토레지스트를 충분히 건조하지 않으면 엣지 비드가 형성되고, 이후 정렬 오버레이가 드리프트하기 시작한다. 베이크가 고르지 않으면 선폭 분포가...