단파 적외선 램프 반도체

팹 내에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.1°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 이는 단순한 허용 오차가 아니라, 웨이퍼가 폐기되어야 하는 수준의 오차입니다. 저희는 이러한 불확실성을 제거하기 위해 단파 적외선 램프를 개발했습니다...