用于光刻机的石英玻璃防护罩

别再浪费能源了：更有效的处理光刻机热量的方法 在半导体制造厂中，每一瓦特的电能被浪费掉，就相当于白白浪费了金钱。在使用光刻机时，我们希望所有的红外能量都能准确照射到晶圆上，一点都不能浪费。 这就是为什么我们要使用镀金石英屏蔽层的原因。如果没有这种屏蔽层，能量就会散失到光刻机的内部结构中。而有了它之...