短波红外灯半导体

在光刻生产线上，光阻烘烤过程中哪怕有0.1°C的温度变化，都可能使关键尺寸发生纳米级的偏差。这已经超出了“容忍范围”，直接导致产物报废。因此，我们设计了短波红外灯，以此消除这种不确定性，从而确保晶圆表面的均匀性——这不再是不确定的因素，而是一种可实现的指标。 我们选择短波红外线作为发光源，因为它的...