红外发射器的陶瓷端盖

红外发射器与热风：为何在半导体加工中速度如此重要？ 如果仍然使用热风循环方式来进行半导体的深度加工，那简直就是在白白浪费时间。 想想热风的工作原理吧：首先需要加热空气，然后再加热整个处理腔体，最后才是加热晶圆。这个过程极其缓慢。而红外发射器则无需经过这些步骤——它可以直接利用辐射将热量传递到目标物...