Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten: Warum Infrarotheizung einfach sinnvoll ist
Wenn Sie weiterhin Heißluft zur Verarbeitung von Halbleitern verwenden, verbringen Sie im Grunde die Hälfte Ihres Tages damit, zu warten.
Denken Sie daran, wie Heißluft funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt – anschließend muss diese Luft wiederum den Wafer erwärmen. Das ist ein ineffizienter Prozess. Es ist, als würde man versuchen, einen Raum zu erwärmen, indem man einen Föhn gegen die Wand richtet.
Infrarotheizung hingegen funktioniert anders: Sie nutzt Strahlungsenergie, um direkt auf den Substrat einzwirken. Es gibt keinen Mittelsmann – und es muss nicht gewartet werden, bis die Luft „mitkommt“.
Die wahren Kosten des Wartens
Jeder, der bereits einmal vor einem solchen Ofen gestanden hat, kennt dieses Gefühl der Verzögerung beim Erreichen der gewünschten Temperatur. Man stellt die Temperatur ein – und wartet weiter.
Mit Infrarotlampen kann man das Ziel in Sekunden erreichen. Das macht einen riesigen Unterschied für die Gesamtzeit des Verarbeitungsprozesses. Das ist besonders wichtig bei der Aushärtung oder Entgasung der Wafer. Wenn man die Temperatur nicht sofort erhöhen kann, besteht die Gefahr, dass der Wafer verformt wird – dann hat man wirklich ein Problem.
Die Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Der Vorteil bei Infrarotheizung ist natürlich ihre kompakte Bauweise. Man kann auf die großen, lauteren Lüfter sowie die langen Leitungen verzichten. Man muss nur die Lampen richtig anordnen – dann funktioniert alles.
Aber man muss vorsichtig sein. Da Infrarotheizung so schnell wirkt, ist es leicht, zu viel Energie zu verwenden. Wenn die Lampen nicht richtig positioniert sind, entstehen Hotspots. Zudem benötigt man PID-Controller, die mit dieser Geschwindigkeit mithalten können – sonst überschreitet man die gewünschte Temperatur, bevor man es überhaupt merkt.
Warum alle auf Infrarotheizung umsteigen
Es kommt letztendlich darauf an, wie schnell man von der Raumtemperatur zur gewünschten Temperatur gelangen kann.
Außerdem wird die Wärmeverteilung auf dem Wafer viel gleichmäßiger. Man muss nicht mehr mit turbulenter Luft umgehen oder unnötig viel Energie für die Erwärmung des Metallgehäuses einer riesigen Maschine ausgeben. Die Energie wird genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird.
Wenn Ihre Anlage weiterhin auf Öfen mit Luftzirkulation angewiesen ist, verpassen Sie Geld. Der Umstieg auf Infrarotheizung bedeutet keine teuren technischen Anpassungen – sondern lediglich eine schnellere Verarbeitung der Wafer.
Mehr Durchsatz. Geringere Kosten pro Wafer. Weniger Zeit, die man mit Warten verbringt.