در اتاقهای تمیز درجه ۱، ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری روی صفحات گرم قرار میگیرند. میزان حساسیت فوتورزیست نیز تحت تأثیر دماست؛ نه تصورات ذهنی. تغییر دمای ۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییراتی در لایههای لیتوگرافی شود و منجر به از بین رفتن محصولات تولید شده در طول یک هفته شود. ما از هیترهای مادون قرمز برای جلوگیری از این مشکلات استفاده کردهایم.
چه چیزهایی مهم هستند؟
این هیتر از اجسام ساطعکننده موج کوتاه کوارتز برای تولید گرمای مستقیم استفاده میکند؛ پاسخ این هیتر در عرض چند میلیثانیه اتفاق میافتد. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ۰.۰۵ درجه سانتیگراد است. بدنه این دستگاه از فولاد ضدزنگ ۳۱۶L ساخته شده است؛ این امر باعث کاهش گازهای زائد میشود. این دستگاه قادر به کار در فشار خلاء تا ۱۰^-۶ مبار است. ساختار این دستگاه به گونهای است که حتی پس از ۵۰۰۰ ساعت کار در دمای ۲۵۰ درجه سانتیگراد، تولید ذرات زائد صفر باقی میماند. سیستم کنترل این دستگاه نیز به گونهای است که دما را در محدوده مشخص نگه میدارد.
چرا این روش در فرآیند فوتورزیست مؤثر است؟
محدودیتهای حرارتی در این فرآیند زیاد است؛ این هیتر پروفایلهای دقیقی برای فرآیندهای مختلف فراهم میکند که باعث تثبیت ابعاد مهم میشود و کارهای تکراری را کاهش میدهد. سرعت بالای این هیتر، زمان کار را کاهش میدهد؛ همچنین، جرم حرارتی پایین این هیتر، مصرف انرژی را کاهش میدهد. در نتیجه، بازدهی محصولات در خطوط تولید ۲۰۰ میلیمتری و ۳۰۰ میلیمتری یکنواخت خواهد بود؛ همچنین، تعداد محصولات باکیفیت بیشتری تولید میشود و نیاز به تعمیرات نیز کمتر میشود.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شوند؟
برای نصب این دستگاه، باید هندسه اتاق و خواص ساطعکنندههای حرارتی در نظر گرفته شود؛ سپس هیتر باید متناسب با بار حرارتی مشخص، تنظیم شود. انتظار داشته باشید که برای تنظیم دقیق دما، نیاز به چند بار آزمایش باشد. پس از تنظیم، این سیستم به خوبی کار خواهد کرد؛ اما باید هر سه ماه یک بار بررسیهای لازم انجام شود تا یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود.