בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.2°C במהלך תהליך החימום של החומר הפוטורזיסטנטי יכול לפגוע בשליטה בעובי הקווים, ובכך לפגוע באיכות המוצר הסופי. מכשירי חימום רגילים מנסים לשמור על אחידות בטמפרטורה ברחבי הוואף, אך עדיין יש צורך בשליטה קפדנית. חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום הוא הפתרון היעיל ביותר.
מה חשוב באמת? המודול שלנו משתמש ברכיבי אינפרא-אדום שניתן לשלוט בהם באופן עצמאי, כדי לשלוט בטמפרטורה באזורים שונים של הוואף. כך ניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C בכל חלקי הוואף. ניתן גם לשלוט בנקודת החימום בצורה מדויקת, כדי ששלבי החימום הקריטיים יתבצעו כראוי. ההרכבה של המודול מתאימה לחדרי עבודה מסוג Class 1–100: חומרים עם פליטת גזים נמוכה, אופטיקה מאוטמת, ומבנה שמפחית את החלקיקים באוויר. ניתן לצפות לאפס חלקיקים במהלך תהליך החימום, וליציבות תרמית לטווח ארוך.
למה זה עובד בפועל? המודול מאפשר שליטה מדויקת בתהליך החימום. ניתן לחזור על תהליכי החימום באופן קבוע, כך שהצורך בעבודה חוזרת פוחת, ואיכות המוצר עולה. התגובה התרמית מהירה, כך שניתן לקצר את זמני העבודה מבלי לפגוע באיכות המוצר. האנרגיה מופנית רק למקומות הנדרשים, מה שמפחית את עלויות התפעול. יש פחות וואפים שצריך לזרוק, פחות אזעקות, ותהליך החימום יכול להתבצע 24/7 ללא הפרעות.
הפרטים המעשיים ההתקנה כוללת התאמה של המודול לממדי החדר, וחיבור למערכות הגז והחשמל הקיימות. אנו מספקים תרשימי חיבור ונהלי אימות. המודול עובד עם שיטות טיפול סטנדרטיות בוואפים, אך אינו מתאים לשימוש בתנאי רטובים. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהמודול עובד כראוי בתנאי העבודה הספציפיים שלכם.