חימם אינפרא אדום תואם לשימוש בוואקום
צמצום בזבוז אנרגיה בשלב החצי-מוגמר: האמת לגבי חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום אם אנחנו באמת רוצים להשיג את מטרות הניטרליות הפחמנית במפעלי השבבים,...
חיממן אינפרא אדום לתא ואקום
בחדר נקי מסוג Class 1, על לוח החימום החם מונחת שבב בגודל 300 ממ. חומר הפוטורזיסט מושפע מהטמפרטורה – ולא משיקולים אחרים. שינוי של 2 מעלות צלזיוס על...