בחדר נקי מסוג Class 1, על לוח החימום החם מונחת שבב בגודל 300 ממ. חומר הפוטורזיסט מושפע מהטמפרטורה – ולא משיקולים אחרים. שינוי של 2 מעלות צלזיוס על פני השטח יכול לגרום לשינויים בשכבת הליתוגרפיה, ולהרוס את כל התוצאות שהושגו במשך שבוע שלם. לכן יוצרנו מערכת חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום, כדי להימנע מהערכות שגויות.
מה חשוב בתהליך החימום החימום מתבצע באמצעות גלאי קוורץ בעלי גלים קצרים, שמספקים חום ישיר; זמן התגובה הוא במילישניות. באזור הפעיל, האחידות של הטמפרטורה על פני השבב היא ±0.1 מעלות צלזיוס, והשגרתיות של החימום היא 0.05 מעלות צלזיוס. גוף החדר עשוי מפלדת אל-חלד 316L, שעבר עיבוד חשמלי כדי להפחית את פליטת הגזים; החדר מסוגל לשמור על רמת ואקום של 10^-6 מבר. המבנה של החדר מותאם לתנאי חדרים נקיים, כך שאין ייצור של חלקיקים, אפילו לאחר 5,000 שעות עבודה בטמפרטורה של 250 מעלות צלזיוס. מערכת הבקרה המשולבת מאפשרת שמירה על רמת הטמפרטורה הרצויה, ללא סטיות.
למה זה עובד בתהליך עיבוד הפוטורזיסט הטמפרטורה בתהליך חיונית מאוד. החימום המדויק מאפשר שליטה ברמת הטמפרטורה במהלך העיבוד, מה שמסייע לשמור על המידות הקריטיות ולהפחית את הצורך בעבודה חוזרת. החימום המהיר מקצר את זמן העיבוד, והמסה התרמית הנמוכה מפחיתה את צריכת האנרגיה. כתוצאה מכך, ניתן להשיג תוצאות עקביות בקווי ייצור של 200 ממ ו-300 ממ, עם פחות פסולת, פחות ניסיונות חוזרים, ואפשרות לתכנון טוב יותר של זמני התחזוקה.
מה צריך להביא בחשבון ההתקנה כוללת התאמה של גאומטריית החדר לגאומטריה של המקורות החוממים, ולאחר מכן התאמת החימום לעומס התרמי הספציפי. יש לצפות לזמן קצר של תכנון כדי להתאים את מיקום הגלאים ואת קצב החימום. לאחר שהכל מותאם, המערכת תעבוד בצורה יציבה, אך יש לתכנן בדיקות תקופתיות של המקורות החוממים וכיול שנתי, כדי לשמור על רמת האחידות של הטמפרטורה של ±0.1 מעלות צלזיוס.