फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में केवल 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पाद को बेकार बना सकता है। ऐसी स्थिति में अनियमित तापमान की कोई आवश्यकता नहीं है; बल्कि ऐसा तापमान ही आवश्यक है जो नियंत्रित रहे।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे लिथोग्राफी ओवनों में उपयोग होने वाले लैंप, संकीर्ण-तरंगदैर्घ्य वाला इन्फ्रारेड प्रकाश उत्पन्न करते हैं; ऐसा प्रकाश ठीक उसी जगह पहुँचता है जहाँ फोटोरेजिस्ट अवशोषित होता है। इससे सतह पर तेज़ एवं समान तापन होता है। बेकिंग क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं एक शॉट से दूसरे शॉट में, एक शिफ्ट से दूसरी शिफ्ट में भी तापमान समान ही रहता है।
लैंप की संरचना ऐसी है कि यह क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आ सकता है; ऑन-साइट निगरानी से यह सुनिश्चित किया जाता है कि वहाँ कोई कण न उत्पन्न हो। 5,000 घंटों से अधिक समय तक लैंप का आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से कम की गिरावट होती है… इससे ऊष्मा-संबंधी लागतें नियंत्रित रहती हैं।
यहाँ यह क्यों कारगर है?
वेफर को सुखाने की प्रक्रिया में, तेज़ एवं नियंत्रित तापन से सतही तनाव नियंत्रित रहता है, एवं ठंडा होने के दौरान पुनः संदूषण होने की संभावना कम हो जाती है। “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में, इन्फ्रारेड प्रकाश से विलायक दूर हो जाता है, लेकिन बारीक संरचनाएँ नष्ट नहीं होतीं… इससे लाइन-विड्थ नियंत्रण में सुधार होता है।
“हार्ड बेक” एवं “क्यूरिंग” प्रक्रियाओं में भी यही लैंप संरचना उपयोग में आती है… इससे एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है… जिससे पैटर्निंग एवं पैकेजिंग प्रक्रियाओं में कोई समस्या नहीं आती। परिणामस्वरूप, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, बर्बाद होने वाला माल कम हो जाता है, एवं प्रक्रिया का समय भी नियंत्रित रहता है।
ऊर्जा-उपयोग में भी कमी आती है। लैंप केवल उसी हिस्से को गर्म करता है जिसकी आवश्यकता है… इससे ऊर्जा-उपयोग कम हो जाता है।
जानने योग्य बातें:
उपकरणों का सही मेल आवश्यक है… लैंप की संरचना, बेस एवं कनेक्टर आदि को लिथोग्राफी ओवन/हॉटप्लेट के अनुरूप ही होना चाहिए। लैंप बदलने के बाद, सेटपॉइंटों की स्थिरता एवं एकरूपता को पुनः स्थापित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।
सर्वोत्तम एकरूपता हेतु, लैंप को विशिष्ट रिफ्लेक्टर एवं चैंबर संरचना के अनुरूप ही ट्यून किया जाना चाहिए… अनुपयुक्त भागों का उपयोग करने से प्रदर्शन खराब हो जाता है। इंस्टॉलेशन के बाद, तापमान-प्रोफ़ाइल एवं कणों की संख्या की जाँच करें… फिर ही प्रक्रिया शुरू करें।