ウェハーツール用温度センサー

ウェーハの適切な加熱方法（無駄なエネルギーの消費を避けるために） もし、製造プロセスをカーボンニュートラルにすることを目指しているのであれば、熱管理をしっかり行う必要があります。従来の方法、つまり抵抗加熱式の炉を使う方法は、まるで家全体を暖めるのに、たった一枚のピザを温めるだけのエネルギーを使って...